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LWALP系列朗un秸胝鋃舷低/h2>
產品型號︰
LWALP-170

產品特zheng

 
        朗un秸胝鋃舷低呈且hong測試等離zi體參數de關鍵診斷gong具,可以對等離zi體密du、電ziwendu、等離zi體電流密du等參數進行實時在線監測。

一、主yao特點
        朗望ke技自主研zhide朗un逄秸胝鋃舷低常ㄒ韻錄虺WALP系統)可以對主yaode等離zi體參數︰?等離zi體密du、電ziwendu、離zi電流密du、等離zi體電位、懸浮電位等,進行實時在線監測;
        朗望ke技創新de航天電zi技shu和真空tiao件下deWIFIgao可靠通xun技shu,保證 LWALP系統設備可完全置于真空huan境下gong作,避免了測量xin號穿艙帶來dema煩,dada降低了設u賈e難du,jidatigao了系統de測量準確du;
        中國航天、中ke院、中國電ke等da量等離zi體研jiu機構研jiu人yuandeke刻測試驗證,朗望ke技對技shu、產品精益求精de迭代優hua保證了LWALP系統測量de準確性。

二、dan探針(柱形探針、平mian探針、球形探針)
        LWALP系統可對直流、脈沖直流、微波和射頻等離zi體進行診斷測試。標準探針軸de長du為300mm,也可根據需求yan長至1.5m。u朧e探頭固定裝置能夠有xiao防止在探針采集qu域由于濺射導電層引起de增量。簡danshi宜de探頭固定設計使de探頭degeng換十分容易。標準探針材料為鎢,也可由鉬、鉑、因瓦合金等zhi成。根據yong戶yao求,我們可定zhi不同長du、直徑、材料和形狀de探針,同時分xi軟件desheng級也十分簡便。

san、雙探針
        雙探針可針對接地qing況不佳de現chang加以yingyong,可yong于RF/pRF和DC/pDC等huanhang2 剎egao密du等離zi體。探頭qingjie作為標準配置,自動qingjie功能使deqingjie探頭geng加容易,尤其對于chen積等離zi體特別有yong。ALP系統deyingyong軟件可支持自動qingjie和shou動qingjie雙重操作。

四、空間分布測量
        ?使yongsan維線性驅動系統(san維空間X*Y*Zchicun︰500*500*500mm)能將朗un秸 釗ao等離zi體腔室de不同位置中,在探針所da位置,可測de附近等離zi體de關鍵參數,繪zhichuda多數等離zi體性質deqing晰圖片。

五、直流buchang
        預掃miao模式可以排除對直流buchang電jide需求,在探針消耗不同電流時,能jian測daoIV特zheng曲線中電yade漂移。亦可確定等離zi體de對地電zu,同時加以shi當de修正。

六、射頻buchang
        本系統配置de探針軸由金屬zhi成,fu以精良de陶ci層,使de探頭對等離zi體de耦合最佳hua,可排除對buchang電jide需求。

產品主yao參數

等離zi體參數診斷範圍

 

ALP系統kongzhidanyuan參數

 

懸浮電位(Vf)

-165V~165V

電ya掃miao範圍

-170V~+170V

等離zi體電位(Vp)

-80V~165V

電流掃miao範圍

15nA~150mA

等離zi體密du(Ne)

10^6~3.2x10^13cm^-3

通xun方式

WiFi,LAN

離zi電流密du(Ni)

3nA/cm^2~25mA/cm^2

采樣速率

1.0 MSPS (V,I)

電ziwendu(kTe)

0.1~10eV

yingyong軟件 


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操作系統

Windows7以shang

 直流,脈沖直流,微波等離zi體

 

運動定位機構

 長du

 200mm~1.5m,可定zhi其他長du

san維行程 

 XYZ:500*500*500mm,其他可定zhi

 直徑

 0.2mm~10mm

 真空du

 lou率≦5*10^-7(Pa*m^3/s)


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