dian推進dian源、dian推進shi驗pei套設備、可編cheng直流dian源及負載

 
        朗繆爾探針診斷xi統是一種測shi等離子體can數的關鍵診斷工具，可以對等離子體密度、dian子溫度、等離子體dian流密度等can數進行實時在線監測。

一、主yao特點
        朗望ke技自主yan制的朗繆爾體探針診斷xi統（以xia簡稱LWALPxi統）可以對主yao的等離子體can數︰?等離子體密度、dian子溫度、離子dian流密度、等離子體dianwei、懸浮dianwei等，進行實時在線監測；
        朗望ke技創新的航天dian子技shu和真空tiaojianxia的WIFIgao可靠通訊技shu，bao證 LWALPxiheng璞縛賞uan置于真空huan境xia工作，bi免了測量信號chuan艙帶來的麻fan，大大降低了設備布置的nan度，極大提gao了xi統的測量準an齲br />        中國航天、中ke院、中國dianke等大量等離子體yanjiuji構yanjiu人yuan的苛ke測shi驗證，朗望ke技對技shu、產pin精yi求精的迭代優huabao證了LWALPxi統測量的準確性。

二、單探針（柱形探針、平面探針、球形探針）
        LWALPxi統可對直流、脈沖直流、微bo和射頻等離子體進行診斷測shi。標準探針zhou的長度為300mm，ye可根據xu求延長至1.5m。嵌入式的探頭固ding裝置能夠you效防止在探針采ji區域由于jian射導dianceng引qi的增量。簡單適宜的探頭固ding設jishi得探頭的更換十fen容易。標準探針材料為鎢，ye可由鉬、鉑、因wa合金等制cheng。根據用戶yao求，我們可ding制不tong長度、直徑、材料和形狀的探針，tong時fen析軟jian的升級ye十fen簡便。

三、雙探針
        雙探針可針對接地情況不佳的現場加以應用，可用于RF/pRF和DC/pDC等huan境。並可測得gao密度等離子體。探頭清潔作為標準pei置，自動清潔功能shi得清潔探頭更ou菀祝ou其對于chen積等離子體特別you用。ALPxi統的應用軟jian可支持自動清潔和手動清潔雙重操作。

四、空jianfen布測量
        ?shi用三wei線性驅動xi統（三wei空jianX*Y*Z尺寸︰500*500*500mm）能將朗繆爾探針深入到等離子體腔室的不tongwei置中，在探針所達wei置，可測得附jin等離子體的關鍵can數，繪制出大多數等離子體性質的清晰i　

五、直流補償
        yu掃描mo式可以排chu對直流補償dian極的xu求，在探針消耗不tongdian流ao　薌觳獾V特zheng曲線中dian壓的漂yi。亦可確ding等離子體的對地dianzu，tong時加以適當的修正。

六、射頻補償
        本xi統pei置的探針zhou由金shu制cheng，覆以精良的陶瓷ceng，shi得探an緣壤胱猶宓u合最佳hua，可排chu對補償dian極的xu求。